PPH 晶圆花篮

应用场景

半导体湿制程晶圆清洗、蚀刻与传输环节的载具，适配 4 / 6 / 8 / 12 寸晶圆，满足洁净室使用要求。

结构与工艺

• 电子级高纯 PPH 精密加工，低金属析出、低颗粒
• 结构按槽体与机械手接口定制，可选防静电配方
• 耐 HF、SPM 等常用制程化学品

质检与交付

尺寸全检与洁净包装，支持按制程清单成套供货与快速补货。