半导体
PPH 半导体湿制程管路工程
某晶圆厂扩产项目需新增高纯化学品输送管路,对材质析出、焊缝洁净度与泄漏防护要求严格。
方案与实施
主管路采用电子级高纯 PPH,关键化学品段双壁管 + 泄漏检测;全部焊口洁净间预制、红外热熔工艺,焊缝通球与压力试验全检,支吊架与热补偿按管系应力计算布置。
成果
- 析出指标满足晶圆厂 ppb 级要求
- 焊缝一次合格率 100%,试压零泄漏
- 按期随产线投产,运行稳定
某晶圆厂扩产项目需新增高纯化学品输送管路,对材质析出、焊缝洁净度与泄漏防护要求严格。
主管路采用电子级高纯 PPH,关键化学品段双壁管 + 泄漏检测;全部焊口洁净间预制、红外热熔工艺,焊缝通球与压力试验全检,支吊架与热补偿按管系应力计算布置。